「導體製造技術與管理」序

「導體製造技術與管理」序*

2004年7月1日星期四

台灣半導體產業在近三十年間，從無到有，歷經六十年代工研院團隊赴美國RCA公司取經，七十年代新竹科學園區設立，聯華、台積電公司成立，工研院深次微米計畫衍生為世界先進公司，以及其他積體電路公司之興衰起落，由起步、萌芽、茁壯，到現在被公認為世界級產業，創造經濟奇蹟；也建立國人在高新科技領域於國際舞台上競爭的信心，影響極為深遠。近年來我國平面顯示器產業迅速崛起，產值近兆，市佔率即將超越韓國而成為世界第一，亦與半導體產業奠定的良好基礎息息相關。因此半導體產業在我國高新科技發展上，無疑地佔據了制高點，仍將扮演龍頭主導角色。

剖析台灣半導體產業優勢，個人認為半導體製造技術與生產管理最為突出。有人認為，半導體製造先進設備，均附有操作條件與步驟指示（recipe），只要肯投資，「轉動鑰匙」(turn key) 依樣畫葫蘆即可。但實際上，先進積體電路製程，步驟動輒數以百計，由於高精密度的要求，往往「牽一髮而動全身」，而由於產業進步迅速，及時引進新製程為持續不斷的挑戰，可謂與時間賽跑，在產業毛利率逐漸下滑之際，製程整合與生產管理至為重要。

簡禎富教授為本院「工業工程與工程管理學系」傑出教師，主要研究領域為決策分析、半導體製造模式與分析、資料挖礦等，不僅學有專精獲獎無數，並與產業界互動良好。例如，其研究成果「最佳化晶圓曝光樣型最佳化」，已獲得發明專利等具體成果，並於半導體公司上線使用，因而榮獲八十九年度教育部産學合作研究獎。如今擬以與產業界合作成果部份內容，整合產業相關知識，出版「導體製造技術與管理」一書，當為台灣半導體產業持續發展重要參考。本人從事半導體製程相關教學研究多年，身處台灣半導體產業發展洪流中，友朋學生亦多為從業人員，見證產業整體蓬勃發展，個別興替，感受特別深刻，自樂為之序。

 

陳力俊

清華大學工學院院長

*「導體製造技術與管理」，簡禎富、施義成、林振銘、陳瑞坤編，清華大學出版社 (2005年4月)